AGV小车（Automated Guided Vehicle，自动导引车）在半导体行业有诸多重要应用，主要包括以下方面：
物料搬运
晶圆搬运：在晶圆制造和封装过程中，AGV小车可精确、无尘地将晶圆在不同工艺阶段间运输，确保生产顺畅衔接，减少因移动污染导致的产品损坏风险。
原材料及半成品运输：AGV小车能在半导体生产车间、仓库与生产线之间，以及不同车间之间运输原材料、半成品等物料，提高运输效率，降低人力成本。
生产线柔性化
灵活调整布局：半导体制造厂房面积大、设备分布复杂，AGV小车系统可通过无线通信技术快速响应生产调度变化，轻松调整路线，适应生产线的变化与扩张。
多工艺环节衔接：AGV小车可在晶体制造、封装集成、组装包装等不同工艺环节间实现物料的自动转运，打通离散生产环节，助力企业实现柔性生产。
环境控制与特殊运输
微环境控制运输：对于一些对气候和环境有严格控制要求的敏感物料，特种AGV小车系统能够提供有控制气候的密封载体，确保物料在转移过程中的环境稳定，如在恒温恒湿条件下运行，避免温湿度波动对物料造成潜在损害。
真空环境运输：在半导体的真空工艺环境下，AGV小车可满足高洁净等级、防静电、高可靠性等要求，实现物料在真空环境中的安全运输。
智能监控与管理
生产状态监控：通过集成传感器和互联网技术，AGV小车可以持续监控生产环境和工艺状态，并将相关数据反馈至控制系统，以便及时发现生产过程中的异常情况。
预测性维护：AGV小车系统能够运用机器学习算法对未来的维护需求进行预测，提前制定维护计划，减少设备停机时间，提高设备运营的可靠性和时效性。
生产管理优化：AGV小车的智能数据分析能力有助于制造商在生产过程中实现更高级别的自动化决策，如优化生产流程、调整生产计划、合理分配资源等，提高生产管理水平。
安全与兼容性
安全保障：半导体工厂对生产安全要求严格，AGV小车系统不仅能确保工人远离危险环境，减少人工操作，还能通过先进的碰撞避免系统、安全激光雷达等确保自动化操作的安全性。
兼容性好：AGV小车提供的是无人操作的运输解决方案，与工人进行兼容而无需过多改动现有的生产环境布局，可在不影响现有生产的情况下投入使用。
